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無(wú)塵車(chē)間控制溫濕度的必要性

更新時(shí)間:2018-07-02點(diǎn)擊次數(shù):2648
  無(wú)塵車(chē)間控制溫濕度的必要性
 
  無(wú)塵車(chē)間的溫濕度主要是根據(jù)您的加工工藝要求來(lái)確定,在滿(mǎn)足加工工藝的條件下,先應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級(jí)。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。
 
  對(duì)于大部分潔凈空間,為了防止外界污染侵入,需要保持內(nèi)部的壓力(靜壓)高于外部的壓力(靜壓)。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則:
 
  1、潔凈度高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度低的空間的壓力。
 
  2、相通潔凈室之間的門(mén)要開(kāi)向潔凈度高的房間。
 
  3、潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。
 
  壓力差的維持依靠新風(fēng)量,這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄(或滲透)風(fēng)量通過(guò)潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。
 
  對(duì)于亂流潔凈室由于主要靠空氣的稀釋作用來(lái)減輕室內(nèi)污染的程度,所以主要用換氣次數(shù)這念,而不直接用速度的概念,不過(guò)對(duì)室內(nèi)氣流速度也有如下要求:
 
  1、送風(fēng)口出口氣流速度不宜太大,和單純空調(diào)房間相比,要求速度衰減更快,擴(kuò)散角度更大。
 
  2、吹過(guò)水平面的氣流速度(例如側(cè)送時(shí)回流速度)不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。
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