風淋室在光學薄膜潔凈室的應用方法 上海
風淋室屬于光學薄膜潔凈室的一種常見設施。光學薄膜主要由薄的分層介質構成的,通過界面?zhèn)鞑ス馐囊活惞鈱W介質材料,如今光學薄膜已廣泛用于光學和光電子技術領域,制造各種光學儀器。光學薄膜的特點是:表面光滑,膜層之間的界面呈幾何分割。膜層的折射率在界面上可以發(fā)生躍變,但在膜層內是連續(xù)的,可以是透明介質,也可以是光學薄膜吸收介質;可以是法向均勻的,也可以是法向不均勻的。實際應用的薄膜要比理想薄膜復雜得多。這是因為在制備時,薄膜的光學性質和物理性質偏離大塊材料,其表面和界面是粗糙的,從而導致光束的漫散射,膜層之間的相互滲透形成擴散界面。由于膜層的生長、結構、應力等原因,形成了薄膜的各向異性,膜層具有復雜的時間效應。
光學薄膜按應用分為反射膜、增透膜、濾光膜、光學保護膜、偏振膜、分光膜和位相膜。常用的是前4種。光學反射膜用以增加鏡面反射率,常用來制造反光、折光和共振腔器件。光學增透膜沉積在光學元件表面,用以減少表面反射,增加光學系統(tǒng)透射,又稱減反射膜。光學濾光膜用來進行光譜或其他光性分割,其種類多,結構復雜。光學保護膜沉積在金屬或其他軟性易侵蝕材料或薄膜表面,用以增加其強度或穩(wěn)定性,改進光學性質。zui常見的是金屬鏡面的保護膜。
風淋室備在光學薄膜生產車間使用的主要原因是光學薄膜生產車間潔凈度要求高,光學薄膜不能有一點灰塵。進入光學薄膜生產車間,每個人必須換上工人工作時穿的衣服、帽子、鞋子與口罩。我們被包裹得嚴嚴實實,只有一雙眼睛露在外面。要經過了一道“風淋室"去塵,每個人被風淋室吹出潔凈風渾身“沐浴"一遍。風淋室是員工進入潔凈室與非潔凈室*的凈化設備之一,它可以zui大限度地減少員工進出潔凈室所帶來的污染問題,對待進入光學薄膜生產車間管理中起到一定的作用。在其它特定的潔凈車間內,還配置了多條百級凈工作臺生產流水線使用。